%D 2014
%T Патент на корисну модель № 93270 "Спосіб формування епітаксійних шарів кремнію"
%A Ш. Д. Курмашев
%A О. А. Кулініч
%A О. Н. Софронков
%A Г. І. Брусенська
%L eprints5337
%R Заявка № u 2014 03934