%0 Patent
%@ Заявка № u 2014 03934
%A Курмашев, Ш. Д.
%A Кулініч, О. А.
%A Софронков, О. Н.
%A Брусенська, Г. І.
%D 2014
%F eprints:5337
%T Патент на корисну модель № 93270 "Спосіб формування епітаксійних шарів кремнію"
%U http://eprints.library.odeku.edu.ua/id/eprint/5337/