relation: http://eprints.library.odeku.edu.ua/id/eprint/5337/ title: Патент на корисну модель № 93270 "Спосіб формування епітаксійних шарів кремнію" creator: Курмашев, Ш. Д. creator: Кулініч, О. А. creator: Софронков, О. Н. creator: Брусенська, Г. І. subject: Патенти date: 2014-09-25 type: Патент type: NonPeerReviewed format: text language: uk identifier: /id/eprint/5337/1/SofronkovON_Patent_93270_2014.pdf identifier: Одеська національна академія зв'язку ім. О. С. Попова (2014) Патент на корисну модель № 93270 "Спосіб формування епітаксійних шарів кремнію". Заявка № u 2014 03934. relation: Заявка № u 2014 03934 identifier: Заявка № u 2014 03934