%L eprints3917
%P 114-115
%C Украина, г. Одесса, Одесский национальный университет им. И. И. Мечникова
%A Ш. Д. Курмашев
%A И. М. Викулин
%A А. Н. Софронков
%A А. В. Веремьева
%T Физико-химические основы бездрагметальной толстопленочной технологии элементов интегральных микросхем : тези доповідей
%D 2014